EFEM
반도체이송장비 EFEM (Equipment Front End Module)는 반도체 라인에서
Foup 내의 Wafer를 공정 모듈에 공급하는 공정 장비의 표준 인터페이스 모듈입니다.
모든 공정 장비에 표준으로 적용되며 장비의 청정도 유지와 설비의 생산성에서 큰 영향을 미칩니다.
(주)라온에스에서는 기술력과 협력사의 우수한 장비를 활용하여 Customizing하여 EFEM 장비를 제작하고 있습니다.
라온에스(LaonS)
경기도 화성시 동탄기흥로557 금강펜테리움IT타워 611호
M. laons@laons.co.kr l F. 031-5183-4613
사업자등록번호 : 307-86-01544
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